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共用實驗室儀器

請欲預約使用者，請直接跟實驗室聯繫，儀器使用完畢請至系辦開立收據，謝謝。

 

儀器收費請參閱下方附件

icon中山光電系共用實驗室儀器收費標準 

(若您在此頁面中未尋找到儀器，代表儀器維修中無法外借)

儀器之代工、預約暨收費說明
共用實驗室儀器收費收款紀錄單
電子槍蒸鍍系統 E-Gun Evaporation (E-Gun)
釔鋁石榴石晶體脈衝雷射 Neodymium-doped Yttrium Aluminum Garnet Pulse Laser (ns)
無塵室 Clean room
通訊訊號分析儀 Communication Signal Analyzer (CSA)
Argon氣體雷射 Argon Laser
感應耦合式蝕刻機ICP/RIE System for III-V Compound Semiconductor Device Fabrication (ICP/RIE)
偏光顯微鏡 Polarized Optical Microscope (POM)
無塵室抽風櫃 Clean Room Hood
光電轉換器 Lightwave Converter (LC)
任意波形產生器 Arbitrary Waveform Generator (AWG)
反應式離子蝕刻機Reactive Ion Etching (RIE)
氧氣電漿清洗機 Oxygen Plasma Cleaner
六吋晶圓貼合機 Wafer bonding
光譜分析儀Optical Spectrum Analyze (OSA)
10Gb/s誤碼率量測系統 10GB/s Bit error rate testing system (BER)
數位取樣示波器 Digital Sampling Scope (DSO)-01
曝光機 Süss MicroTec MJB3 Mask Aligner (Mask Aligner)
接觸角量測系統 Contact Angle Measurement System
金相用自動氣壓式研磨拋光機 Grinding and Polishing Equipment
光纖熔接機 Fiber Fusion Splicer (FSM)
向量式網路分析儀 Vector Network Analyzer (VNA)
精密鑽石頭晶片切割機或薄晶片切割機 Scriber
Zeiss偏光顯微鏡 Polarized Optical Microscope（POM）
覆晶黏著機 Flip Chip bonding
快速熱回火 Rapid Thermal Processing (RTP)
四點探針 4 Point Probe
電子束微影系統 e-beam lithography
掃描式電子顯微鏡 Scanning Electron Microscope (SEM)