電子槍蒸鍍系統 E-Gun Evaporation (E-Gun)

儀器名稱：電子槍蒸鍍系統 E-Gun Evaporation (E-Gun)

用途：蒸鍍金屬材料

廠牌與型號：ULVAC/EB/EO184

重要規格：

(1)operating pressure： 2e-6 torr

(2)靶材：Au, Ti, Pt, Ni,AuGe

注意事項：

(1)請詳述欲操作鍍率與時間

(2)請一星期前完成線上預約並通知管理者

(3)耗材包含氮氣,石英振盪片等實驗驗耗等但不包含貴金屬靶材(時價)

管理者：邱逸仁 / 朱俊燁

放置位置：光電調變實驗室工EC4007

連絡分機： 4472

開放時間：每周星期一至星期五10:00-20:00

收費標準：

使用費：本系816元/次，本校外系2100元/次，外校3571元/次

操作服務費：本系500元/次，本校外系500元/次，外校500元/次

自104年4月1日起

使用費：本系816元/次，本校外系1500元/次，外校3500元/次

操作服務費：本系500元/次，本校外系500元/次，外校500元/次

不開放自行操作

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