快速熱回火 Rapid Thermal Processing (RTP)

名稱：快速熱回火 Rapid Thermal Processing (RTP)

用途：快速高溫熱退火

廠牌與型號：Arts100

注意事項：(1)請詳述欲升溫之溫度及持續時間和樣品材質

(2)操作時間:自元件進入腔體，至儀器關閉為止

(3)請一三天前通知管理者預約

管理者：邱逸仁 /陳琮隆

放置位置：光電調變實驗室/工EC4016

連絡電話或分機：4472

開放時間：

星期一至星期五10:00-22:00

收費標準：

使用費：本系524元/次，本校外系1512元/次，外校2571元/次

操作服務費：本系500元/次，本校外系500元/次，外校500元/次

開放自行操作（使用者需通過操作認證）

瀏覽數: