跳到主要內容區

Top

快速熱回火 Rapid Thermal Processing (RTP)

名稱: 快速熱回火 Rapid Thermal Processing (RTP)
用途: 快速高溫熱退火
 
廠牌與型號:Arts100
 
注意事項:(1)請詳述欲升溫之溫度及持續時間和樣品材質
(2)操作時間:自元件進入腔體,至儀器關閉為止
(3)請一三天前通知管理者預約
 
 
 
管理者邱逸仁 /陳琮隆
放置位置光電調變實驗室/工EC4016
連絡電話或分機4472
開放時間:
星期一至星期五10:00-22:00
 
收費標準:
使用費:本系524元/次,本校外系1512元/次,外校2571元/次
操作服務費:本系500元/次,本校外系500元/次,外校500元/次
 
開放自行操作(使用者需通過操作認證)
 
 
瀏覽數: