曝光機 Süss MicroTec MJB3 Mask Aligner (Mask Aligner)

名稱：曝光機 Süss MicroTec MJB3 Mask Aligner (Mask Aligner)

用途：光罩對準、曝光

廠牌與型號：suss MicroTec MJB3

重要規格：

a.水銀汞燈 200W

b.曝光波長:365nm (positive resist exposures) ~405nm(negative resist exposures)

c.解析度: Line/space resolution of 1.5 microns and alignment accuracies of 0.2 microns can be obtained

注意事項：請3天前通知管理者預約

管理者：邱逸仁 / 方溢薪

放置位置：工EC4007

連絡電話或分機：4472

開放時間：

周一至周五10:00-22:00

收費標準：

使用費：本系196元/hr，本校外系630元/hr，外校1000元/hr

操作服務費：本系500元/hr，本校外系500元/hr，外校500元/hr

開放自行操作（使用者需通過操作認證）

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