氧氣電漿清洗機 Oxygen Plasma Cleaner

名稱：氧氣電漿清洗機 Oxygen Plasma Cleaner

用途：清洗基板

廠牌與型號：Harrick Plasma, PDC-001

重要規格：6" diameter x 6.5" length Pyrex chamber ; Max power 29.6W

注意事項：需經過工安訓練方得自行操作

購入日期 0000-00-00

管理者：林宗賢

放置位置液晶實驗室/國研IR2006

連絡電話或分機： 4469

開放時間：

每週三13:00-17:00

收費標準：

使用費：本系714元/hr，本校外系960元/hr，外校1099元/hr

操作服務費：本系300元/hr，本校外系400元/hr，外校500元/hr

開放自行操作（使用者需通過操作認證）

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