紫外光臭氧蝕刻機UV-Ozone

名稱：紫外光臭氧蝕刻機UV-Ozone

用途：利用紫外光與臭氧對樣品表面進行清潔與改質(親水性)

廠牌與型號:SAMCO/UV1

重要規格

1.氧氣流量: 0~1L/min

2.加熱器溫度: 攝氏0度~攝氏300度

3.可置入腔體樣品大小: ~150 mm (6") diameter；~12mm thick

4.紫外光燈管功率:110W

注意事項

1. 本系統每週開放服務5天，每週六、日預設為設備維護保養時間。

2. 所有使用者均需經過認證，且每次使用前均需完成線上登記方可使用。

3. 預約後欲取消須於24小時之前至線上，違者當天停止使用並照常計費。

4. 其他相關規定與罰責，依據光電系共用實驗室儀器管理辦法實施。

5. 洪勇智老師和陳俐吟老師的Group可免使用費，但仍然須付靶材及保養費用。

6. 若須進行委託製程，則需額外支付操作服務費，為避免不必要紛爭，委託製程不保證實驗良率。

7. 自行操作者，靶材需自行準備。

8. 委託製程者，需視所使用靶材而有額外耗材支出，本機台目前AZO、Si、SiO2、TiO2、Al2O3、Ta2O5、SiO，若非以上幾種靶材，則需自備。

9. 不論是自行操作或委託製程，在實驗前需與儀器負責人溝通，若有特殊需求(如委託合作進行製程開發)，請與儀器保管教授聯絡。

購入日期 2014-10-00

管理者：洪勇智 / 黃家偉 / 林家金

放置位置：積體光電元件實驗室

EC4016-1

連絡電話或分機： 4432

開放時間：

每周星期一至星期五9:00-21:00 國定假日及周末不開放

收費標準：

使用費：本系429元/1hr，本校外系882元/1hr，外校1214元/1hr

操作服務費：本系300元/1hr，本校外系300元/1hr，外校300元/1hr

開放自行使用（使用者需經過操作認證）

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