快速高溫回火及冷卻水系統 (RTA)

名稱：快速高溫回火及冷卻水系統（退火爐）Rapid Thermal Annealing (RTA)

用途：快速高溫熱退火

廠牌與型號：ULVAC (RTA)

重要規格：

(1)operating pressure: 2~3e-2 torr

(2)溫度飄移+/- 5℃

注意事項：

(1)預約時請詳述欲升溫之溫度及持續時間

(2)計費:自元件進入腔體，至儀器關閉為止

(3)請二週前完成線上預約並通知管理者

管理者：邱逸仁 / 張雁翔

放置位置：工EC4016 無塵室

連絡分機：4472

開放時間：每周星期一至星期五10:00-22:00

收費標準：

使用費：本系408元/次，本校外系840元/次，外校2143元/次

操作服務費：本系500元/次，本校外系500元/次，外校500元/次

開放自行操作（使用者需通過操作認證）

瀏覽數: